WWW.PDF.KNIGI-X.RU
БЕСПЛАТНАЯ  ИНТЕРНЕТ  БИБЛИОТЕКА - Разные материалы
 

«Федеральная целевая программа «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научнотехнологического комплекса России на 2014—2020 годы» Соглашение № ...»

Федеральная целевая программа

«Исследования и разработки по приоритетным

направлениям развития научнотехнологического

комплекса России на 2014—2020 годы»

Соглашение

№ 14.581.21.0007 от

03.октября.2014 г.

на период 2014 - 2016 гг.

Тема: «Исследование и разработка

технологий элементной базы

высокотемпературной микро и

наноэлектроники»

Руководитель проекта: Ректор МИЭТ,

Чаплыгин Ю.А.

Индустрия наносистем

Цели и задачи проекта

Требования к работоспособности систем:

Примеры применений:

Создание основ технологии изготовления и конструкции основных элементов высокотемпературной, радиационно-стойкой микроэлектроники на КНИ структурах.

Создание основ технологии сборки высокотемпературных изделий микроэлектроники.

Создание методик и средств измерений и испытаний высокотемпературной микроэлектроники.

Создание СФ блоков высокотемпературной микроэлектроники.

Разработка методов и правил проектирования, Ожидаемые результаты

• В результате работы будут разработаны технология, методы проектирования, тестовые структуры блоков ИС и СФ блоки изделий высокотемпературной микроэлектроники с рабочим диапазон температур от -60 оС на структурах кремний на изоляторе.

до 225

• Полученные в ходе работы результаты будут использованы ведущими отечественными предприятиями в области создания и разработки изделий высокотемпературной микроэлектроники. Основная область применения результатов - разработка и производство монолитных интегральных схем для экстремальных условий применения при повышенных температурах окружающей среды.



Сопоставление полученных результатов с мировым уровнем Технология HTSOI4 XI10 H10 H035 КНИ КНИ 0,5 0,18 мкм мкм Изготовитель Honeywell X-FAB FhG FhG МИЭТ- МИЭТIMS IMS ЗНТЦ Микрон Тип SOI SOI SOI SOI SOI SOI

CMOS CMOS CMOS CMOS CMOS CMOS

Мин. размер 0.8 m 1.0 m 1.0 m 0.35 0.5 m 0.18 m структуры m Металл Al, W Al, W Al, W W W Cu Перспективы практического использования Основная область применения результатов - разработка и производство монолитных интегральных схем для экстремальных условий применения при повышенных температурах окружающей среды. Основными направлениями использования подобной электроники являются:

энергетика и транспорт:

газотурбинные двигатели (силовые установки самолетов и электроэнергетики), датчики используемые в жестких и высокотемпературных средах (химические сенсоры сгорания), автомобильные и авиационные двигатели, добыча и переработка полезных ископаемых:

буровые установки газо-нефтедобычи и геотермальные исследования, нефтехимическая индустрия, мониторинг экологической обстановки, робототехника.

–  –  –

Технологический маршрут и топология макета с проектной нормой 0,5 мкм и вольфрамовой металлизацией.

Серийное освоение данной технологии запланировано в ОАО «ЗНТЦ» в 2017 году Технологический маршрут и топология макета с проектной нормой 0,18 мкм и медной металлизацией.

Серийное освоение запланировано в ОАО «НИИМЭ и Микрон»

в 2017 году Технологический маршрут и топология макета МИМ конденсатора на основе high-k диэлектриков, в том числе конденсатора с 3D структурой с удельной емкостью 14 фФ/мкм2 или 1,4 мкФ/см2

–  –  –

Высокотемпературная технология КНИ 0,5 мкм Вольфрамовая металлизация Преимущество W по сравнению с Al: высокая устойчивость к электромиграции.





Недостаток : удельное сопротивление до 3-х раз выше.

3 уровня W- разводки с заполнением контактных окон вольфрамом;

Минимальная ширина шины –

0.6 m;

Минимальный зазор –

0.7 m;

Силицид титана на poly-Si и N+/P+ Si;

Размер контактного окна: 0.5 m.

Топология макета тестовой матрицы с технологическими нормами 0,5 мкм Высокотемпературная технология КНИ 0,18 мкм

–  –  –

Преимущества Cu по сравнению с Al:

-высокая устойчивость к электромиграции;

-низкое удельное сопротивление

Недостатки :

Невозможность использования процессов ПХТ (дамасский процесс для формирования разводки в канавках);

высокая химическая активность.

уровня Cu- разводки с заполнением контактных окон медью;

Минимальная ширина шины – 0.32 m;

Минимальный зазор – 0.32 m;

Силицид тантала на poly-Si и N+/P+ Si;

Размер контактного окна: 0.24 m.

–  –  –

3D конденсаторы с высокой удельной емкостью Конденсаторы с высокой удельной емкостью с high k диэлектриком.

Увеличение эффективной поверхности конденсатора путем создания 3D структур с высоким аспектным отношением.

При толщине high k диэлектрика 50нм и 15 значение 3D конденсатора - 14 фФ/мкм или 1,4 мкФ/см

–  –  –

МФТИ ФГУП ЦНИИХМ

Компетенции участников:

Компетенции участников:

1. Разработка теоретических основ работы КМОП транзисторов в расширенном температурном диапазоне.

2. Компьютерное моделирование технологических и электрических характеристик КМОП структур ИС на КНИ с проектными нормами 0.5 и 0,35мкм, СФ блоков в диапазоне температур от минус 60 до плюс 225 °С.

3. Разработка программы и методик исследовательских испытаний макетов.

4. Разработка конструкторской, программной и эксплуатационной документации стендов для исследования макетов.

5. Разработка библиотек элементов и правил проектирования.

6. Разработка ЭКД и изготовление макетов.

7. Исследовательские испытания макетов.

ЗНТЦ:

1. Разработка правил проектирования высокотемпературных изделий микроэлектроники.

2. Разработка теории и методов сборки высокотемпературных изделий микроэлектроники.

3. Разработка конструкции СФ блока операционного усилителя с расширенным температурным диапазоном.

4. Разработка методов измерений и испытаний.

ЗИТЦ:

1. Изготовление комплекта фотошаблонов для макетов.

2. Разработка ЭКД и изготовление макетов.

МФТИ:

1. Проведение теоретических исследований структур МИМ конденсаторов на основе трехкомпонентного наноразмерного диэлектрика с высокой диэлектрической проницаемостью (high-k диэлектрики).

2. Разработка технологических маршрутов изготовления пленок трехкомпонентного наноразмерного диэлектрика с высокой диэлектрической проницаемостью (high-k диэлектрики).

3. Физико-химические и электрофизические исследования пластин спутников со сформированной структурой многокомпонентных (легированных) диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью

ФГУП ЦНИИХМ:

1. Разработка технологии формирования и изготовление макетов с объемными выводами на контактных площадках кристалла для высокотемпературных изделий.

2. Разработка программы и методик и проведение исследовательских испытаний макетов с объемными выводами на контактных площадках кристалла..

Национальный исследовательский университет «МИЭТ» образовательный и научный центр, принимавший непосредственное участие в становлении и развитии отечественной электронной промышленности.

Научная деятельность университета включает следующие направления:

•материалы микро-, нано- и оптоэлектроники;

•электронная компонентная база;

•микросистемная техника;

•математики, физики, химии и электроники;

•информационно-управляющие системы и комплексы;

•устройства волоконной и интегральной оптики;

•микроэлектронные радиотехнические системы и устройства;

•информационные технологии и телекоммуникации.

Функции и компетенции :

1.Разработка теоретических основ работы КМОП транзисторов в расширенном температурном диапазоне.

2. Компьютерное моделирование технологических и электрических характеристик КМОП структур ИС на КНИ с проектными нормами 0.5 и 0,35мкм, СФ блоков в диапазоне температур от минус 60 до плюс 225 °С.

3. Разработка программы и методик исследовательских испытаний макетов.

4. Разработка конструкторской, программной и эксплуатационной документации стендов для исследования макетов.

5. Разработка библиотек элементов и правил проектирования.

6. Разработка ЭКД и изготовление макетов.

7. Исследовательские испытания макетов.

ОАО «НИИМЭ и Микрон» — головное предприятие группы компаний «Микрон».

Наиболее крупный акционер ОАО «НИИМЭ и Микрон» — ЗАО «РТИ Микроэлектроника».

«Микрон»-это современное микроэлектронное предприятие, крупнейший производитель полупроводниковой продукции в СНГ и Восточной Европе.

Продукция ОАО "НИИМЭ и Микрон" поставляется практически во все регионы России, стран СНГ, Китай и страны Юго-Восточной Азии.

ОАО «НИИМЭ и Микрон» развивает собственный научноисследовательский центр, в котором работают сегодня около 400 человек. Предприятие на постоянной основе сотрудничает с более чем 60 научными организациями — институтами РАН, государственными научными центрами РФ, техническими университетами, отраслевыми НИИ, НТУ и центрами проектирования.

На площадях и оборудовании индустриального партнера – ОАО «НИИМЭ и Микрон» осуществляется изготовление тестовых элементов, тестовых цифровых и аналоговых блоков, а также сложнофункциональных блоков высокотемпературной микроэлектроники на КНИ МДП структурах.

Разрабатываемая технология высокотемпературной микроэлектроники на КНИ МДП структурах с проектными нормами 0,18 мкм запланирована к внедрению в серийное производство ОАО «НИИМЭ и Микрон».

ОАО «Зеленоградский нанотехнологический центр»

–  –  –

Функции и компетенции:

• Разработка правил проектирования высокотемпературных изделий микроэлектроники.

• Разработка теории и методов сборки Цикл кристального производства.

высокотемпературных Площадь чистых комнат 850 кв. м., класс: 10изделий микроэлектроники.

• Разработка конструкции СФ блока операционного усилителя с расширенным температурным диапазоном.

• Разработка методов измерений и испытаний.

ОАО «Зеленоградский инновационнотехнологический центр»

ОАО «Зеленоградский инновационно-технологический центр»

является одним из лидирующих центров по созданию элементов и приборов в области нано- и микросистемной техники.

ОАО «ЗИТЦ» совместно с МИЭТ реализует проект по созданию первой в России Технологической деревни – полномасштабного инновационного комплекса, соответствующего мировым стандартам и оптимальным образом приспособленного для ведения техниковнедренческой деятельности по вышеуказанным отраслевым направлениям.

Роль в проекте:

ОАО «ЗИТЦ» осуществляет разработку и изготовление комплектов фотошаблонов для всех изделий проекта, в кооперации с другими участниками проводит разработку и изготовление отдельных макетов высокотемпературной микроэлектроники

Национальный исследовательский университет «МФТИ»

«МФТИ» является высшим учебным заведением Российской Федерации, осуществляющим подготовку специалистов высшей квалификации в различных областях современной науки и техники.

МФТИ выполняет научные исследования, связанные с обеспечением обороноспособности и безопасности: исследования и разработки новейших образцов наукоемких вооружений и военной техники.

Фундаментальные исследования ориентированы на направления, в которых Россия продолжает сохранять ведущие позиции в мировой науке.

Программа НИУ МФТИ основана на следующих приоритетных направлениях развития:

• физика и технологии наноструктур, наносистем, наноматериалов и нанобиофизика;

• информационные, телекоммуникационные технологии, суперкомпьютеры, прикладное математическое моделирование;

• физика и технологии приборов, систем и устройств на новых физических принципах.

Институт успешно решает не только фундаментальные и прикладные научные проблемы, но и выступает координатором крупномасштабных научнотехнических проектов.

Функции и компетенции в проекте:

• Проведение теоретических исследований структур МИМ конденсаторов на основе трехкомпонентного наноразмерного диэлектрика с высокой диэлектрической проницаемостью (high-k диэлектрики).

• Разработка технологических маршрутов наноразмерного диэлектрика

• Физико-химические и электрофизические исследования наноразмерного диэлектрика Аналитическое и техническое оборудование, используемое в проекте Атомно-силовой микроскоп Инфракрасный Фурье-спектрометр Установка Атомно-Слоевого осаждения Поляризационный микроскоп Оптический стол для определения угла смачивания ГНЦ РФ ФГУП "ЦНИИХМ" является ведущей организацией страны в области прорывных научно-технических решений для перспективных вооружений.

В институте создан Научно-исследовательский центр нанотехнологий, оснащенный современным оборудованием для разработки современных систем безопасности.

Разработки НИЦ нанотехнологий:

• Сцинтилляционные фосфатные стекла для детектирования тепловых и медленных нейтронов.

• Пленочные рентгенолюминесцентные сцинтилляторы.

• Элементы перспективных микроэлектромеханических систем для экстремальных условий эксплуатации с использованием нано и МЭМС-технологий.

• Покрытия оптических частей фотоаппаратуры с низким коэффициентом отражения для повышения качества изображения и снижения массогабаритных характеристик.

• Компактный радар "Голограф" для поиска движущихся объектов за оптически непрозрачными преградами.

• Малогабаритные радиоизотопные термоэлектрические электрогенераторы РИТЭГ.

Функции и компетенции в проекте:

• Разработка технологии формирования и изготовление макетов с объемными выводами на контактных площадках кристалла для высокотемпературных изделий.

• Разработка программы и методик и проведение исследовательских испытаний макетов с объемными выводами на контактных

Похожие работы:

«ВЕСТНИК ТОМСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО УНИВЕРСИТЕТА 2009 Философия. Социология. Политология №3(7) УДК 1: 3+ 007.51 И.В. Мелик-Гайказян «СОБЫТИЕ-В-ДЕЙСТВИТЕЛЬНОСТИ» И «СОБЫТИЕ-В-РЕАЛ...»

«ОПРЕДЕЛЕНИЕ ЗАВИСИМОСТИ ДИНАМИКИ МАССЫ ДЕТЕНЫШЕЙ МОНГОЛЬСКОЙ ПЕСЧАНКИ (Meriones unguiculatus Milne-Edwards) ОТ ГЕНОТИПА Владимирова А.И., Наливайко И.В. Поволжская государственная социально-гуманита...»

«31 января-7 февраля 2016 РЕГЛАМЕНТ КОНКУРСА Ст. 1 ДАТЫ И АДРЕСА Приз Лозанны 2016 Международный конкурс молодых артистов балета проводится Фондом содействия хореографическому искусству (именуемый далее Фонд), который зарегистрирован в Швейцарии, в Лозанне. Конкурс будет проходить с воскресенья утра 31...»

«Вопросы о Библии Что такое Библия? Является ли Библия Божьим Словом? Есть ли в Библии ошибки, противоречия или расхождения? Почему мы должны читать / исследовать Библию? Актуальна ли Библия сегодня? Как правильно изучать Библ...»

«Автоматизированная копия 586_375087 ВЫСШИЙ АРБИТРАЖНЫЙ СУД РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ПОСТАНОВЛЕНИЕ Президиума Высшего Арбитражного Суда Российской Федерации № 3809/12 Москва 4 сентября 2012 г. Президиум Высшего Арбитражного Суда Российской Федерации в составе: предс...»

«КОНСПЕКТ ЛЕКЦИЙ по курсу «Прогнозирование в условиях рынка» «Прогнозирование в условиях рынка» Тема 1. Научные основы прогнозирования Планирование (прогнозирование) заключается в систематическом поиске возможностей де...»

«ДУОМИКС ПУ 460 / ДУОМИКС ПУ 280 Распылительный пистолет ПУ4040 www.wiwa.com ПОЛИУРЕЯ – СЕРИЯ УСТРОЙСТВ Распылительный пистолет ПУ 4040 ДУОМИКС 280 для нанесения пены Инновационные Полимочевина приобретает все большее значение к...»

«37 PАЗДЕЛ I. Важнейшие моральные и этические учения. ^^^ Практическое функционирование морали в реальном контексте человеческой жизни связано с двумя основополагающими проблемами человеческого существования: а) каким образом добродетель сочетается со сч...»








 
2017 www.pdf.knigi-x.ru - «Бесплатная электронная библиотека - разные матриалы»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.